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光掩膜除了应用于集成电路芯片制造外,还广泛应用与像LCD,PCB等领域。
常见的光掩膜的种类有四种,铬版、干版,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。
应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶,硬度小且易吸附灰尘,不过干版还有包膜和超微颗粒干版,其中后者可以应用于芯片制造。是集成电路专业比不可少的元器件。